近年来,新能源领域的发展备受关注,一方面,新能源的出现能够更好地推动社会的可持续发展;另一方面,新能源作为新兴行业,发展势头强劲,创新能力强势,为社会带来更多惊喜。其中,光伏产业就是我国能源供应体系的重要分支,在很大程度上影响着能源领域的发展,因此,其高质量发展已成为行业前行的必然趋势。海康机器人为赋能新兴行业,为其提供可靠智能化设备的企业,也打造出了满足光伏行业发展的众多产品,比如3D激光轮廓传感器。那么如何利用海康机器人3D激光轮廓传感器实现硅片位置度(搭边)检测呢?

首先,“搭边”指的是硅片在PECVD和PVD工艺段中,需要放置到载具中进行上下料,载具尺寸与硅片尺寸需刚好适配,若硅片位置发生偏移,则会出现边角部位遮盖在载具边缘的情况,即为“搭边”,如果发生“搭边”情况,在后续镀膜时会导致硅片绕镀或破裂。为规避该风险,在PECVD和PVD镀膜上下料时需要对“搭边”硅片进行检出。可见,海康机器人3D激光轮廓传感器存在的必然性和重要性。

从海康机器人3D激光轮廓传感器提供的VM3D软件方案来看,其针对搭边缺陷检测,基于相机采集的深度图像,导入VM3D软件中,依据mark点定位到每个料盘的四个角点,分别在角点料坑上下曲小区域计算均值,可取四对或八对区域,比对料坑上下高度差值,正值为OK(绿色非搭边框),负值为NG(红色搭边框)。使得检测结果更加直观,也更便于简化企业的检测流程,提升企业的工作效率。

而针对叠片和碎片缺陷检测,VM3D软件中,深度图像分别定位到每个硅片位置,统计每个硅片位置ROI内平面度,根据平面度情况判断硅片是否存在破碎和叠片。这对于光伏产业相关企业打造产品来讲,能够极大地避免产品缺陷的发生,让企业在发展的过程中能够实现更高质量的改变,对于企业、行业来讲,都是可持续发展的必然条件。

海康机器人自成立以来,一直在不断地为各行各业提供着符合时代发展趋势、行业发展要求的智能化产品,不断超越自身,向价值共生迈进。未来,海康机器人依旧会不间断地打造优质智能化设备,致力于见证软硬科技产品的发布,加深与各行业工艺深度融合的场景化解决方案,实现长远发展。

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